凈化車間的主要目的是控制空氣污染。無(wú)塵車間必須最大限度地減少空氣中的灰塵，甚至達(dá)到無(wú)塵效果，這就需要一個(gè)良好的過(guò)濾系統(tǒng)來(lái)凈化空調(diào)。此外，過(guò)濾器的性能還與生產(chǎn)車間控制灰塵和微生物的效果有關(guān)。因此，凈化空調(diào)用空氣過(guò)濾器的質(zhì)量要求相對(duì)較高。潔凈室需要配備三級(jí)過(guò)濾，即空氣處理裝置的一級(jí)和中級(jí)過(guò)濾器以及供氣終端的高效過(guò)濾器。

 

　　凈化工程潔凈室的溫度和濕度主要根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定。在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)首先考慮人體舒適度。隨著空氣潔凈度要求的提高，技術(shù)對(duì)溫度和濕度的要求也越來(lái)越高，達(dá)到一定的溫度和濕度水平。例如，在用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中。

 

　　作為掩模材料的玻璃和硅晶片的熱膨脹系數(shù)之間的差異要求越來(lái)越小。當(dāng)溫度上升1度時(shí)，直徑為100微米的硅片的線性膨脹為0.24微米。因此，它們具有0.1度的恒定溫度。與此同時(shí)，濕度值被要求盡可能的低，因?yàn)槿藗兂龊购螅a(chǎn)品會(huì)被污染，尤其是在害怕鈉的半導(dǎo)體車間。這種車間不應(yīng)超過(guò)25度。

 

　　1.風(fēng)管網(wǎng)路

 

　　管道系統(tǒng):包括送風(fēng)、回風(fēng)、新風(fēng)、排風(fēng)管道、末端和控制裝置等。空調(diào)系統(tǒng):包括冷(熱)水機(jī)組(包括水泵、冷卻塔等。)(或風(fēng)冷式管道機(jī)液位等。)、管道、聯(lián)合凈化空調(diào)箱(包括混流段、一級(jí)效段、加熱段、制冷段、除濕段、增壓段、中間效段、靜壓段等。)。

　　2.地線系統(tǒng)

 

　　地面系統(tǒng):環(huán)氧樹(shù)脂通常用于清潔地面。凈化工程公司圍護(hù)結(jié)構(gòu)體系:簡(jiǎn)單地說(shuō)，它由屋頂、墻壁和地面組成，即構(gòu)成三維封閉空間的六個(gè)側(cè)面。更準(zhǔn)確地說(shuō)，它包括門(mén)窗、裝飾圓弧等。

 

　　3.電氣系統(tǒng)

 

　　電氣系統(tǒng):照明、電源、弱電三部分，包括凈化燈、插座、電氣柜、接線、監(jiān)控、電話等強(qiáng)弱電系統(tǒng)。

 

　　4.給排水系統(tǒng)

 

　　給排水系統(tǒng):給水、排水管、設(shè)施及控制裝置等。